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                  視覺檢測機在硅晶圓檢測中的應用

                  2020-10-09 10:41:32 責任編輯: 瑞智光電 0

                      照相機是視覺檢測機中必不可少的部件,短波紅外(SWIR)照相機使用于紅外顯微成像,可檢驗半導體制作過程中的缺陷。電子設備在現如今現代科技中已十分遍及。每個人很有可能在應用電子設備時,直接就遇到并應用了硅晶圓。


                      硅——半導體的關鍵材料

                  視覺檢測機


                      晶圓是一種薄的半導體材料基材,用于制作電子一體式電路。半導體材料品種多樣,電子器材中最常用的一種半導體材料是硅(Si)。硅晶圓是一體式電路中的重點部分。它由高純度、簡直無缺陷的單晶硅棒利用切片制成,用作制作晶圓內和晶圓表面上微電子器材的基板。晶圓要利用多個微加工工藝過程才能制成,例如掩膜、蝕刻、摻雜和金屬化。


                     集成電路(IC)基本成為全部電子設備的要緊部件。IC是將很多電子電路和元件的微型結構移植印制到半導體晶體(例如硅Si)的材料的表面上。元件、電路和基材均制作在單個晶圓上。數以百計的一體式電路IC可一起在單個薄硅晶圓上制作,隨后切割成多個單獨的IC芯片。硅晶圓裂紋會損害最終商品品質。


                      視覺檢測機檢驗硅晶圓會堆集在成長、切開、研磨、蝕刻、拋光過程中的殘余應力。因而,硅晶圓在整個制作過程中很有可能發生裂紋,如果裂紋未被檢驗到,那些含有裂紋的晶圓就在后續生產制造時期中發生無用的商品。裂紋也很有可能在將一體式電路切割成單獨IC時發生。因而,若要下落制作成本,在進一步的加工前,檢查原材料基材的雜質、裂紋和在加工過程中檢驗缺陷十分關鍵。


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